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控制傳動(dòng)系統(tǒng)$n1.5.1、 電機(jī)：閉環(huán)伺服電機(jī)$n1.5.2、 光柵尺：0.01μm絕對(duì)式光柵尺$n怡信全自動(dòng)高精度二次元影像測(cè)量?jī)x1.5.3、 控制板：AR3網(wǎng)絡(luò)板千兆傳輸，網(wǎng)絡(luò)接口主板Z軸帶剎車系統(tǒng)

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